{"id":42589,"date":"2025-03-20T12:12:14","date_gmt":"2025-03-20T11:12:14","guid":{"rendered":"https:\/\/www.bechtle-plm.com\/?post_type=referenzen&p=42589"},"modified":"2025-03-20T12:12:17","modified_gmt":"2025-03-20T11:12:17","slug":"plasway-technologies-gmbh","status":"publish","type":"referenzen","link":"https:\/\/www.bechtle-plm.com\/referenzen\/plasway-technologies-gmbh\/","title":{"rendered":"plasway-Technologies GmbH"},"content":{"rendered":"\n
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Die Herausforderungen<\/h3>\n\n\n\n
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  • <\/span>

    Herstellung einer PEALD-Demonstrationsanlage.<\/p><\/span><\/li>\n\n\n\n

  • <\/span>

    Maximale Effizienz der Anlage sicherstellen.<\/p><\/span><\/li>\n\n\n\n

  • <\/span>

    Hohe Schnelligkeit und Genauigkeit in der Auslegung und Konstruktion.<\/p><\/span><\/li>\n\n\n\n\n\n\n<\/ul>\n<\/div>\n\n\n\n

    \n

    Die L\u00f6sungen<\/h3>\n\n\n\n
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    • <\/span>

      Beratung bei der Konstruktion und Auslegung durch das Team der Bechtle PLM Deutschland GmbH.<\/p><\/span><\/li>\n\n\n\n

    • <\/span>

      Auslegung der Str\u00f6mung mithilfe von SOLIDWORKS Flow Simulation.<\/p><\/span><\/li>\n\n\n\n

    • <\/span>

      Kombinierte 3D CAD\/CAE – L\u00f6sung mit SOLIDWORKS und SOLIDWORKS Flow Simulation und leistungsstarke Hardware f\u00fcr schnelle, genaue Ergebnisse.<\/p><\/span><\/li>\n\n\n\n\n\n\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n

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      Neue Entwicklungen mit Potential.<\/h2>\n\n\n\n

      Der Grund, warum man bei der Transistorherstellung immer mehr in atomare Dimensionen abtaucht, ist, dass die Schaltzeiten noch k\u00fcrzer werden sollen. Und dabei spielt die sogenannte Critical Dimension, also die physische Ausdehnung der Strukturen, eine entscheidende Rolle. Gut zu tun hat die Mikroelektronikbranche aber auch deswegen, weil nach wie vor ein ungestillter Hunger nach noch mehr Datenspeicher (etwa DRAM-Chips) be-steht \u2013 mehr Kapazit\u00e4t auf gleichem Raum.<\/p>\n\n\n\n

      F\u00fcr die Herstellung eines Transistors muss ganz gezielt Halbleitermaterial abgetragen (etwa durch Plasma-\u00c4tzen) oder hinzugef\u00fcgt werden, damit die gew\u00fcnschten Schalteigenschaften erzielt werden k\u00f6nnen. Ganz gro\u00df im Kommen ist daf\u00fcr das \u201eadditive\u201c Verfahren Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD). PAELD garantiert optimale Prozesssicherheit, sodass Oberfl\u00e4chen mit h\u00f6chster Homogenit\u00e4t erzeugt werden k\u00f6nnen. Andernfalls k\u00f6nnen Leckstr\u00f6me die gew\u00fcnschten ultrakurzen Schaltzeiten vereiteln.<\/p>\n\n\n\n

      Der Diplomphysiker Stephan Wege ist seit \u00fcber zwei Dekaden im hochinnovativen Umfeld der Chip-Herstellung aktiv. Seine beruflichen Stationen waren bei den namhaften Chipherstellern Siemens Microelectronic, Infineon und Qimonda. Dabei hat sich der Physiker eine enorme Expertise f\u00fcr \u00c4tz- und Plasma-Anwendungen angeeignet und diese dann in einer eigenen Unternehmung, der plasway-Technologies GmbH (Bannewitz bei Dresden, Sachsen), geb\u00fcndelt. plasway-Technologies fertigt Komponenten und komplette Reaktorkammern auf dem Gebiet der plasmagest\u00fctzten Abscheidung und des \u00c4tzens (PEALD und ALE: Atomic Layer Etching).<\/p>\n\n\n\n

      Stephan Wege entwickelt derzeit gemeinsam mit einem Team von f\u00fcnf Mitarbeitern eine PEALD-Demonstrationsanlage mit beachtlichem Potential. Bei der CAE- Methodenberatung und dem Softwarevertrieb vertraut plasway auf die Kompetenz und Unterst\u00fctzung der Bechtle PLM Deutschland GmbH. Als Tools kommen\u00a0SOLIDWORKS 3D CAD\u00a0und\u00a0SOLIDWORKS Flow Simulation\u00a0zum Einsatz sowie neuerdings auch EMWorks.<\/p>\n<\/div>\n\n\n\n

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      Meisterleistung mithilfe von SOLIDWORKS.<\/h2>\n\n\n\n

      Bei plasway-Technologies entsteht eine PEALD-Demonstrationsanlage, die mit ungew\u00f6hnlich gro\u00dfem Durchsatz arbeiten kann. Zu den Aufgaben von SOLIDWORKS Flow Simulation geh\u00f6rte beim Engineering der Anlage die Beantwortung der Frage: Wie l\u00e4sst sich das (Plasma-Gas) effektiv in die Kammer einschie\u00dfen und schnell wieder absaugen?<\/p>\n\n\n\n

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      \u00dcber eine Anordnung von insgesamt 48 D\u00fcsen wird das Gas in den Reaktor geschossen. \u201eWir haben die Abstrahlcharakteristik der D\u00fcsengeometrien gem\u00e4\u00df den Ergebnissen von SOLIDWORKS Flow Simulation optimiert. Hierzu haben wir das gesamte Reaktor-Design in der Modellierung ber\u00fccksichtigt\u201c, erkl\u00e4rt Stephan Wege. Vor der Einf\u00fchrung von SOLIDWORKS Flow Simulation hatte Stephan Wege ein anderes Tool f\u00fcr die Str\u00f6mungssimulation benutzt. \u201eEs hatte zwar gute Analyseergebnisse geliefert, aber der Aufbau der Geometrie innerhalb des Tools war sehr m\u00fchsam. Die integrierte Design- und Analyseumgebung von SOLIDWORKS ist da von ganz anderer Qualit\u00e4t, erlaubt sie doch eine viel effizientere Suche nach der besten L\u00f6sung\u201c, hebt der Gesch\u00e4ftsf\u00fchrer hervor. Ins Gewicht f\u00e4llt dieser Aspekt auch deswegen, weil sehr viele Berechnungsl\u00e4ufe durchgef\u00fchrt wurden und das Design immer wieder angepasst werden musste.<\/p>\n<\/div>\n\n\n\n

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      \"\"
      Querschnitt der Reaktorkammer. In der Mitte befindet sich der Wafer, unten wird das (Plasma-)Gas abgesaugt<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
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      Alles unter Kontrolle.<\/h2>\n\n\n\n

      Als Prozessgas zum \u00c4tzen von Silizium wird SF6 in einen Argon-Strom ein- geschossen und durch ein Plasma in Fluor (F) aufgebrochen. Die Fluor-Radikale adsorbieren auf der Siliziumoberfl\u00e4che und verbinden sich schlie\u00dflich mit dem Silizium. Im Anschluss wird das Si-angereicherte \u201eAbgas\u201c entfernt, wodurch wieder ist eine Atomlage \u201eabgetragen\u201c ist. Eine sehr leistungsf\u00e4hige Turbopumpe, unter dem Reaktor befestigt, sorgt f\u00fcr das ultraschnelle Absaugen und die Herstellung eines Quasi-Vakuums f\u00fcr den n\u00e4chsten Abtragevorgangs. Auch der Einsatz der Turbopumpe wurde mit SOLIDWORKS Flow Simulation optimiert. Der Engineering-Aufwand trug Fr\u00fcchte: \u201eWir sind mit unserem Design aller Voraussicht nach um den Faktor 5 bis 10 schneller als das, was sonst \u00fcblich ist.\u201c<\/p>\n<\/div>\n\n\n\n

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      Gewusst, wie<\/strong>.<\/h2>\n\n\n\n

      \u201eWolfgang M\u00fcller von Bechtle PLM hat mir bereits in der Anfangszeit im Umgang mit SOLIDWORKS Flow Simulation sehr dabei geholfen, den Gasring zu optimieren. So hat er mir Tricks beigebracht, um die FE-Methode zielf\u00fchrend f\u00fcr den Modellaufbau anzuwenden\u201c, erkl\u00e4rt Stephan Wege. Auch bei der Wahl der Geometrie der Vernetzungselemente gab Wolfgang M\u00fcller wertvolle Tipps, meint der Gesch\u00e4ftsf\u00fchrer anerkennend. \u201eDas Gute an SOLIDWORKS ist auch, dass es 64 CPU-Kerne und 128 Threads bei Rechnungslauf voll unterst\u00fctzt. Ausgestattet ist die Workstation mit einem 256-GBit-RAM-Speicher und einer sehr schnellen SSD-Festplatte, sodass eine vollst\u00e4ndige Kammersimulation lediglich etwa zehn Stunden betr\u00e4gt\u201c, sagt Stephan Wege zufrieden.<\/p>\n\n\n\n

      \u201eWolfgang M\u00fcller von Bechtle PLM stand uns an vielen Stellen der Designanalyse stets helfend zur Seite, obwohl wir ihn mit unseren Fragen auch ganz sch\u00f6n gefordert haben\u201c, sagt Stephan Wege begeistert. Doch hat die Geschichte mit der Nutzung von SOLIDWORKS-Produkten bei plasway erst ihren Anfang genommen. Stephan Wege nutzt inzwischen die elektromagnetische Simulationssoftware EMWorks zur elektrostatischen Analyse, um einen sogenannten Electrostatic Chuck (elektrostatische Spannvorrichtung) f\u00fcr die Reaktorkammer zu entwerfen und schlie\u00dflich herzustellen.<\/p>\n\n\n\n

      Text: Bernhard D. Valnion<\/em><\/p>\n<\/div>\n\n\n\n

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      \"Logo<\/figure><\/div>\n\n\n\n
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      \u00dcber plasway Technologies<\/h3>\n\n\n\n

      Die in Sachsen beheimatete Firma plasway-Technologies GmbH besch\u00e4ftigt sich seit 2009 mit der Beratung von nationalen und internationalen Kunden im Bereich Plasma\u00e4tzen und Plasmagest\u00fctzte Abscheidungen in der Mikroelektronik und angrenzenden Bereichen. Stephan Wege, der Gr\u00fcnder der Firma, arbeitet seit 25 Jahren im Bereich der Plasmaprozessierung bzw. Anlagentechnik.
      Der neue erweiterte Schwerpunkt ist die Entwicklung von hochinnovativen Schl\u00fcsselkomponenten und ganzen Prozesskammern insbesondere im ALE (Atomic Layer Etch) und PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) -Sektor.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

      plasway-Technologies arbeitet mithilfe von SOLIDWORKS-L\u00f6sungen und der Methodenexpertise von Bechtle PLM im Bereich von Simulation und Berechnung an Technologiespr\u00fcngen f\u00fcr die Halbleiterindustrie.<\/p>\n","protected":false},"author":11,"featured_media":42594,"template":"","meta":{"_acf_changed":false,"inline_featured_image":false,"greyd_block_editor_preview":[]},"referenzen_category":[147,148],"referenzen_tag":[798,791,862,807],"referenzen_position":[],"referenzen_branche":[95],"referenzen_loesung":[110,112],"class_list":["post-42589","referenzen","type-referenzen","status-publish","has-post-thumbnail","hentry","referenzen_category-design-engineering","referenzen_category-simulation-validation","referenzen_tag-produktentwicklung","referenzen_tag-solidworks","referenzen_tag-solidworks-flow-simulation","referenzen_tag-solidworks-simulation","referenzen_branche-maschinenbau","referenzen_loesung-konstruktion-3d-cad","referenzen_loesung-simulation"],"acf":[],"yoast_head":"\nplasway-Technologies GmbH - 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